机译:绝缘体上硅上基于MEMS的移相器和光波导的单片集成
机译:集成有通道波导的面内绝缘体上硅光学MEMS法布里-佩罗特加速度计的设计和演示
机译:3D结构绝缘体上硅上的单片集成InGaAs纳米线,作为用于全光链路的新平台(第16卷,1833页,2016年)
机译:用于单片微光学的基于绝缘体上硅(SOI)的光学MEMS
机译:绝缘体上硅(SOI)晶片上的集成静电和压电转换轮廓模式MEMS谐振器
机译:具有CMOS放大器芯片的温度补偿单晶绝缘硅(SOI)MEMS振荡器
机译:绝缘体上硅CMOS技术中的单片光学链路
机译:绝缘体上硅(sOI)微电子机械系统(mEms)陀螺仪传感器作为双轴加速度计的操作。